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超精密加工：納米級加工

納米級加工的含義

納米級加工的含意是達到納米級精度，包含：納米級尺寸精度，納米級幾何形狀精度、納米級表面質量。

納米級加工的特點

1、欲得到l nm的加工精度，加工的最小單位必然在亞納米級。由于原子間的距離為0.1-0.3nm，納米級加工實際上已到加工精度的極限

2、納米級加工中試件表面的一個個原于或分子將成為直接的加工對象，因此納米級加工的物理實質就是要切斷原子間的結合，實現原子或分子的去除。

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